大行程5-DOF微纳传动平台的设计及特性分析

• 作者: 余红华 俞松松 刘刚 林超 程凯
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 柔性板簧 微纳传动平台 压电陶瓷 刚度 有限元分析
• 年，卷（期）: 2010,（22）
• 页码范围: 2679-2684
• 页数: 6页
• 分类号: TH139
• 语种: 中文

摘要

对大行程、多自由度及高刚性微纳传动平台的设计要求和特性进行了研究,开发了由压电陶瓷驱动的大行程5-DOF微纳传动平台,设计了位移量大、可导向的微位移放大机构,实现了微纳传动平台的高精度、大移动及大摆动等功能.分析了微纳传动平台的基本原理和自由度,建立了微纳传动平台的运动学模型,得到了其输入/输出特性.基于伪刚体的基本理论及虚功原理,推导了微纳传动平台沿X、Y、Z向的移动刚度及绕X、Y轴的摆动刚度,并对影响微纳传动平台静态刚度的特征参数进行了分析,获得了其移动刚度及摆动刚度的特性.创建了微纳传动平台的几何模型,应用有限元方法对该平台进行了分析及仿真,验证了微纳传动平台的运动学模型、伪刚体模型的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林超		70	501	12.0	19.0
2	余红华		5	29	3.0	5.0
3	刘刚		13	213	6.0	13.0
4	程凯		8	16	1.0	4.0
5	俞松松		6	1	1.0	1.0