增强型等离子化学气象沉积炉均匀布气研究

• 作者: 李桂琴 王成刚 王燕 陆利新
• 来源期刊: 计算机仿真
• 学科: 工学
• 关键词: 匀流板 流体力学 仿真 均匀布气
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 122-125
• 分类号: TB49
• 字数: 3290字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-9348.2010.06.029

摘要

研究感应式射频等离子体技术,为提高离化率,利用流体力学的相关数值计算方法, 对增强型等离子化学气象沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ,PECVD)设备的布气系统进行理论分析,得到平板布气装置中压力与孔径的关系.为了实现根据PECVD设备最大面积的均匀性布气,根据PECVD设备中的压力分布,优化现有的布气装置结构参数,以实现孔径补偿气流的效果.并结合专用的CFD软件对上述不同结构中的气流进行仿真,验证所优化的布气装置的合理性.用到现有的设备当中测试,提高了装备的均匀布气效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王燕	上海大学上海市机械自动化及机器人重点实验室	34	105	6.0	9.0
2	陆利新	上海大学上海市机械自动化及机器人重点实验室	11	34	3.0	5.0
3	李桂琴	上海大学上海市机械自动化及机器人重点实验室	20	104	5.0	9.0
4	王成刚	上海大学上海市机械自动化及机器人重点实验室	5	21	3.0	4.0