脉冲光纤激光直写金属薄膜电阻实验研究

• 作者: 刘富荣 李晓刚 陈继民
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 经济
• 关键词: 激光技术 薄膜导线 微电路 激光直写 金属粉末
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 3196-3200
• 页数: 5页
• 分类号: FN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20103712.3196

摘要

目前激光直写膜电阻时,所加入的辅料容易造成杂质污染,膜的厚度和粗糙度难以降低.为减少杂质污染,降低膜厚和表面粗糙度,改善激光直写微电路性能,进行了透射式激光直写金属薄膜电阻的实验研究,分析了薄膜线宽与激光光斑能量分布特点的关系,获得了线宽低于光斑直径的导电薄膜.实验表明,扫描速度的增加或离焦量的降低会导致光斑重叠率和导线宽度减小.同时,过高的功率会使薄膜受到烧蚀破坏,功率过低则难以将靶材充分熔化附着在玻璃基板上.相比之下,锌膜颗粒尺寸较为均匀,而Al/Zn混合膜的颗粒尺寸不一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈继民		53	447	11.0	18.0
2	刘富荣		10	21	3.0	4.0
3	李晓刚		2	0	0.0	0.0