基于绝缘体上硅晶片的微机电系统红外光源

• 作者: 伞海生 李方强 程美英 钱昆 陈旭远
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学制造 红外光源 微机电系统 绝缘体上硅 调制 光谱
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 1455-1458
• 页数: 4页
• 分类号: TN214
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS20103005.1455

摘要

提出了一种利用微机电系统(MEMS)制造工艺技术制备的硅基微型红外光源.该光源使用绝缘体上硅(Sol)晶片作为基底材料,其上沉积多晶硅材料并通过离子注人工艺实现材料的电阻加热发光特性,Sol晶片上的单晶硅层通过重掺杂实现辐射光背向吸收自加热效应.利用Sol晶片中的掩埋二氧化硅层为刻蚀停止层,通过背面深反应离子刻蚀(DRIE)技术制备微米量级的薄膜发光层结构.光源表面工作温度和辐射光谱分别通过红外热像仪和光谱辐射计测量得到.实验结果表明,该光源在表面温度约700K时,1.3～14.5μm波长内的能量转换效率约为5.58%,光源的调制频率在50%的调制深度下接近40Hz,

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伞海生		9	97	4.0	9.0
2	钱昆		1	0	0.0	0.0
3	李方强		1	0	0.0	0.0
4	程美英		1	0	0.0	0.0
5	陈旭远		4	54	3.0	4.0