高精度模糊自整定温度控制系统研究

• 作者: 尚美杰 张继静 李金涛 颜向乙
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体设备 温度控制 高精度 模糊自整定 自学习
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 新技术应用
• 页码范围: 34-37
• 分类号: TN305
• 字数: 2118字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.12.008

摘要

针对半导体专用设备对温度的特殊要求,采用了一种基于模糊算法、对加热对象适应能力较强的变参数温度控制系统,通过在某半导体专用设备中使用考核,该控制系统控制精度、对控制对象的适应能力、抗冲击能力以及稳定性得到了很好地验证。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张继静	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	23	2.0	4.0
2	颜向乙	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	78	1.0	3.0
3	李金涛	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	1	1.0	1.0
4	尚美杰	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	4	1.0	1.0