单晶圆兆声清洗技术研究及兆声喷头方案优化

• 作者: 冯小强 刘永进 杜建科
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶圆 兆声 清洗
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 15-17
• 分类号: TH132
• 字数: 1343字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.01.005

摘要

基于单晶圆兆声清洗的原理,分析了针对单晶圆兆声清洗的多种方案的优缺点,提出了适合单晶圆兆声清洗的优化方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘永进	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	11	2.0	2.0
2	冯小强	中国电子科技集团公司第四十五研究所	12	9	2.0	3.0
3	杜建科	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	5	1.0	2.0