A1掺杂ZnO薄膜的结构研究

• 作者: 孙会元 岂云开 李志文 杨淑敏 王振文 顾建军
• 来源期刊: 河北科技大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 结构特性 磁控溅射 退火
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 数理科学与化学
• 页码范围: 115-119
• 分类号: O484.1
• 字数: 3299字
• 语种: 中文

摘要

采用直流反应磁控溅射方法,在玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO薄膜.系统研究了不同氩氧体积比、不同退火温度和氛围、不同Al掺杂浓度对薄膜结构的影响.结果显示,Al掺杂ZnO薄膜为多晶薄膜,呈六角纤锌矿结构,制备条件和后期处理以及掺杂浓度对薄膜的微结构有着很大的影响.在氩氧体积比6:1条件下制备的薄膜,经真空500℃退火后具有较好的结晶和明显的(002)择优取向.