高性能PZT压电厚膜及MEMS微驱动器技术研究

• 作者: 刘红梅 曹茂盛 袁杰 赵全亮 路冉 邱成军
• 来源期刊: 黑龙江大学工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: PZT 厚膜 溶胶-凝胶法 MEMS
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 学术专题
• 页码范围: 76-84
• 分类号: TM22
• 字数: 6155字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-008X.2011.03.011

摘要

运用混合溶胶-凝胶法制备了具有钛酸铅(PT)种子层的PZT基压电复合厚膜,包括(100)取向PZT压电厚膜,PZT纳米颗粒增强PZT压电复合厚膜((0-3)PZT)和氧化锌晶须增强PZT复合厚膜(ZnOw-PZT).通过结构表征,研究了工艺条件和膜厚对PZT基厚膜的生长、结晶、取向和微结构的影响,给出最佳工艺条件.并介绍了无阀型压电MEMS微泵、Ⅴ型阀式压电MEMS微泵、压电悬臂梁和三压电悬臂驱动的悬浮膜片式MEMS微镜等微器件的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁杰	中央民族大学信息工程学院	8	30	4.0	5.0
2	邱成军	黑龙江大学电子信息工程学院	35	231	6.0	14.0
3	曹茂盛	北京理工大学材料学院	64	562	14.0	22.0
4	刘红梅	黑龙江大学电子信息工程学院	12	58	4.0	7.0
5	赵全亮	北京理工大学材料学院	5	11	2.0	3.0
6	路冉	北京理工大学材料学院	1	1	1.0	1.0