电沉积镍薄膜材料的压痕尺度效应研究

• 作者: 周益春 赵冠湘 马增胜 黄勇力
• 来源期刊: 湘潭大学自然科学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电沉积镍薄膜 纳米压痕 硬度 尺度效应
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 页码范围: 43-46
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.5

摘要

用纳米压痕法对厚度为3μm的电沉积镍薄膜材料进行了压痕测试,结果表明：不同的压痕深度下所测得的材料硬度值不同,随着压痕深度的减小,硬度值逐渐增大,呈现出明显的尺度效应现象.根据Nix-Gao模型,可以得到电沉积镍薄膜材料的真实硬度值约为6.2 GPa.