用于六自由度纳米微动台的位移传感器研制

• 作者: 徐波 殷宗亮 陈香兰
• 来源期刊: 仪表技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米测量 光纤 光源误差补偿 微型化
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器与变送器
• 页码范围: 68-70
• 分类号: TP212
• 字数: 2390字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-2394.2011.06.023

摘要

为测量六自由度纳米微动台的运动,研制了基于光纤微弯原理的位移传感器.设计了新颖的光纤微弯调制结构,利用补偿光纤消除了光源波动对测量精度的影响.实验证明位移传感器的测量精度为±0.048μm,位移分辨率为10 nm,显著优于同原理的其他位移传感器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐波	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	5	52	3.0	5.0
2	陈香兰	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	1	2	1.0	1.0
3	殷宗亮	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	3	12	2.0	3.0