压电厚膜驱动的高刚度微变形镜的制备

• 作者: 李保庆 褚家如 许晓慧 马剑强
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微变形镜 压电厚膜 高刚度
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 427-431
• 分类号: TN16
• 字数: 2743字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2011.05.009

摘要

研究制备了一种压电厚膜微变形镜,微变形镜的连续薄膜式单晶硅镜面由61单元压电厚膜致动器阵列驱动.以镜面冲程与工作频带宽为目标,对微变形镜的结构参数进行优化设计,根据优化参数采用硅微加工技术试制了61单元致动器的微变形镜.镜面、压电陶瓷与弹性支撑层厚度分别为100μm、60 μm与60μm,单元间距为5mm,通光口径为φ40 mm.对制备的样品性能进行了测试,微变形镜在100V电压驱动下变形量约为2.84 μm,工作带宽大于10 kHz.测试结果还表明压电厚膜驱动的微变形镜拥有较高刚度,有利于提高镜面初始平面度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李保庆	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	137	2920	33.0	43.0
2	褚家如	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	76	566	14.0	19.0
3	马剑强	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	8	55	4.0	7.0
4	许晓慧		4	20	2.0	4.0