基于CANopen现场总线的在线制绒清洗机控制系统

• 作者: 李建国 王达 胡彩丰 高丽颖
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: CANopen现场总线 可编程逻辑控制器 同步传送
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 14-17,24
• 分类号: TN305
• 字数: 1808字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.09.004

摘要

根据在线制绒清洗机的工艺要求及特点,对采用了M258及CANopen现场总线控制系统的构成及网络控制结构进行了详细的研究,并结合底层的执行器及传感器实现了包括硅片的同步传输等主要控制功能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高丽颖		3	1	1.0	1.0
2	胡彩丰		2	0	0.0	0.0
3	王达		2	0	0.0	0.0
4	李建国		2	0	0.0	0.0