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摘要:
提出了一种静电梳齿驱动、电容检测的微机械陀螺仪,分析了其工作原理。同时,通过陀螺进行了必要的仿真和相关的分析计算,并根据加工工艺的要求,得到合理的结构。采用体硅标准工艺设计了陀螺的工艺版图,对其进行了封装分析。
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内容分析
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文献信息
篇名 电容式微机械陀螺仪的设计与仿真分析
来源期刊 机电技术 学科 工学
关键词 陀螺仪 设计 电容式
年,卷(期) 2011,(5) 所属期刊栏目 机电研究及设计制造
研究方向 页码范围 97-99,105
页数 分类号 TP212.14
字数 1676字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-4801.2011.05.031
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研究主题发展历程
节点文献
陀螺仪
设计
电容式
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
机电技术
双月刊
1672-4801
35-1262/TH
大16开
福州市六一中路115号
1977
chi
出版文献量(篇)
3970
总下载数(次)
13
总被引数(次)
8918
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