电容式微机械陀螺仪的设计与仿真分析

• 作者: 张琼
• 来源期刊: 机电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 陀螺仪 设计 电容式
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 机电研究及设计制造
• 页码范围: 97-99,105
• 分类号: TP212.14
• 字数: 1676字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4801.2011.05.031

摘要

提出了一种静电梳齿驱动、电容检测的微机械陀螺仪，分析了其工作原理。同时，通过陀螺进行了必要的仿真和相关的分析计算，并根据加工工艺的要求，得到合理的结构。采用体硅标准工艺设计了陀螺的工艺版图，对其进行了封装分析。