半导体专用设备中机械结构的方案设计及发展前景

• 作者: 董同社 马喜宝
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体专用设备 机械产品 方案设计 发展前景
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 专用设备制造研究
• 页码范围: 45-50
• 分类号: TN305
• 字数: 7338字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.10.012

摘要

根据目前我们进行半导体专用设备中机械结构设计时的主要思维特点,将产品方案的设计方法概括为系统化、结构模块化、基于产品特征知识和智能化四种类型,并总结出这四种方法的特点及其相互间的联系,提出半导体专用设备产品方案设计计算机实现的努力方向和发展前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马喜宝		4	1	1.0	1.0
2	董同社		3	1	1.0	1.0