热退火对氮铝镓MSM结构紫外光电探测器性能的影响

• 作者: 唐亮 李健 王嘉 赵曼 邢大林
• 来源期刊: 长春理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮铝镓 紫外 光电探测器 热退火
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 154-156,168
• 分类号: O472
• 字数: 2613字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9870.2011.02.045

摘要

宽带隙半导体合金材料ALxGa1-xN成为紫外光电探测器的优选材料,本文通过金属有机气相外延(MOCVD)的方法在Al2O3衬底上制备出Al0.25Ga0.75N合金薄膜,并通过紫外曝光和湿法腐蚀的方法,制备出平面对称结构的金属-半导体-金属( MSM)叉指电极结构,通过器件在氮气气氛下不同温度的退火,使得器件的响应度得到很大的提高,在1V偏压下达到3.25A/W,同时对器件的其它参数进行了深入的分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵曼	空军航空大学特种专业系	13	40	4.0	5.0
2	李健		3	1	1.0	1.0
3	邢大林		1	1	1.0	1.0
4	唐亮		1	1	1.0	1.0
5	王嘉		1	1	1.0	1.0