微加工静电排斥驱动器特性分析

• 作者: 姚军 庄须叶 张恒 汪为民 胡放荣 陶逢刚
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 静电排斥微驱动器 压膜阻尼效应 动态分析
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 微纳光学
• 页码范围: 41-47
• 分类号: TN241
• 字数: 2840字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2011.12.008

摘要

基于非均匀电场可产生静电排斥力的原理,设计制造了单元尺寸为300 μm的MEMS静电排斥型离面驱动器.此驱动器不受静电吸合效应的限制,行程较传统静电吸引型驱动器有显著提高.利用表面硅工艺完成了该驱动器的加工.为研究静电排斥型驱动器的动态响应特性,建立了该驱动器的等效模型并利用数值计算方法分析了驱动器的压膜阻尼特性和幅频特性.采用白光干涉仪对微驱动器进行了静态和动态测试,测试结果表明,所设计的MEMS静电排斥驱动器在100V的电压下实现了2.1μm的驱动位移,工作带宽为2kHz,具有较快的响应速度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡放荣	桂林电子科技大学电子工程学院	28	223	10.0	14.0
2	张恒	中国科学院光电技术研究所	34	171	6.0	12.0
6	姚军	中国科学院光电技术研究所	32	355	11.0	18.0
7	陶逢刚	中国科学院光电技术研究所	5	3	1.0	1.0
11	汪为民	中国科学院光电技术研究所	16	32	3.0	4.0
12	庄须叶	中国科学院光电技术研究所	9	102	5.0	9.0