半导体设备异常处理机制方法的研究

• 作者: 刘玉倩 宋丽娟 宫晨
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体设备 多线程 多等级 异常处理
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 专用设备制造研究
• 页码范围: 51-54
• 分类号: TN305
• 字数: 302字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.10.013

摘要

针对半导体设备自动化水平的不断提高,设计一种多线程多等级划分的异常处理机制,并根据设备自身特性,灵活采用软硬件结合或软件异常处理方式去处理设备的异常。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘玉倩	中国电子科技集团公司第四十五研究所	21	25	4.0	4.0
2	宫晨	中国电子科技集团公司第四十五研究所	7	10	2.0	3.0
3	宋丽娟	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	0	0.0	0.0