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摘要:
运用Mathematica,通过最优化理论开发迭代程序,计算SiO2、ZrO薄膜的折射率和单周期及多周期厚度,并与其他方法的计算结果进行对比分析,表明此方法计算结果可以达到较高的精度.通过分析椭偏参数和薄膜厚度的关系可知,一定厚度的薄膜材料存在一个最佳入射角,在该角度下测得的薄膜厚度具有最高的精度.
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文献信息
篇名 椭圆偏振仪测量薄膜折射率及周期厚度解的分析
来源期刊 实验技术与管理 学科 物理学
关键词 椭圆偏振 薄膜厚度 最佳入射角
年,卷(期) 2011,(6) 所属期刊栏目 实验技术与方法
研究方向 页码范围 42-46
页数 5页 分类号 O484.5
字数 3815字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1002-4956.2011.06.012
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈星 浙江大学物理系 25 135 7.0 10.0
2 叶兵 浙江大学物理系 7 8 1.0 2.0
3 童晟飞 浙江大学物理系 2 10 2.0 2.0
4 王正忆 浙江大学物理系 2 10 2.0 2.0
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研究主题发展历程
节点文献
椭圆偏振
薄膜厚度
最佳入射角
研究起点
研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
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实验技术与管理
月刊
1002-4956
11-2034/T
大16开
北京清华大学10号楼2层
1963
chi
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