基于LVDT的光学器件相对位姿检测方法

• 作者: 何正峰 孙立宁 欧阳航空 荣伟彬 马立
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 相对位姿检测 LVDT 光学装配
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 2324-2329
• 分类号: TP206
• 字数: 2335字
• 语种: 中文

摘要

针对光学精密装配工艺特点,提出一种基于LVDT的三维相对位姿检测方法.采用4个对称分布的LVDT检测光学装配过程中球面镜与谐振腔体的位姿关系,根据LVDT的读数推导得出球面镜与谐振腔体的相对位姿.设计采用集成信号调理芯片AD598的LVDT处理电路作为位姿检测的控制系统,通过实验得出LVDT微位移检测的分辨率为0.1 μm,重复检测精度为±0.3μm,并能较好地跟踪方波及正弦波信号.采用PID算法实现球面镜的快速位姿定位.实验结果表明:当球面镜的加工及安装误差在允许范围内时,位姿检测系统可以在25 s内完成球面镜相对于谐振腔体的位姿调整,最大距离误差为0.5 μn,最大角度误差为8″,充分验证了基于LVDT相对位姿检测方法的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	荣伟彬	哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室	98	1491	23.0	33.0
2	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室	379	7003	43.0	61.0
3	马立	上海大学机电工程与自动化学院	15	446	10.0	15.0
5	欧阳航空	上海大学机电工程与自动化学院	16	155	6.0	12.0
8	何正峰	上海大学机电工程与自动化学院	2	6	2.0	2.0