全自动真空磁控溅射镀膜仪研制

• 作者: 杨林生 汪洪波
• 来源期刊: 实验技术与管理
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 镀膜仪 实验平台
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器设备研制与应用
• 页码范围: 58-60,70
• 分类号: TB77
• 字数: 4429字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-4956.2011.04.018

摘要

针对目前真空专业学生教学的需要,研制了全自动真空磁控溅射镀膜仪.详细介绍了镀膜仪6大部分的设计与制作.该镀膜仪具有占地面积小、功能齐全、功能拓展性强的特点,不仅能够服务于多门课程的教学实验,节约实验资源,而且为真空专业学生和教师提供了良好的创新实验平台,可开设多项专业实验和创新实验.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪洪波	合肥工业大学机械与汽车工程学院	52	427	12.0	18.0
2	杨林生	合肥工业大学机械与汽车工程学院	1	2	1.0	1.0