量产芯片中的管脚ESD改进

• 作者: 金沈阳
• 来源期刊: 机电信息
• 学科: 工学
• 关键词: 量产芯片 静电放电 失效分析 人体模型 机器模型
• 年，卷（期）: 2011,（24）
• 所属期刊栏目: 工艺与技术
• 页码范围: 162-163
• 分类号: TP368.1
• 字数: 1681字
• 语种: 中文

摘要

在对量产芯片ESD失效进行分析的基础上，介绍了ESD的人体模型（HBM）、机器模型（MM），对比了2种ESD模型的放电电流。通过实例分析了失效原因，找出了改进ESD能力的修改方案。在改版试流前做了搭接外围器件的ESD试验，结果证明能提高ESD能力；改版流片后经测试验证了ESD能力确实得到提高，可以满足市场上客户的需求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金沈阳		2	2	1.0	1.0