基于Matlab的静电执行器控制仿真与研究

• 作者: 余晓填
• 来源期刊: 中山大学研究生学刊：自然科学与医学版
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 静电微执行器 下拉-释放 仿真分析 稳定性
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 页码范围: 51-64
• 页数: 14页
• 分类号: TP273.2

摘要

为研究静电执行器的动态性能，本文建立非线性系统静电执行器的数学模型，并在系统静态工作点进行局部线性化。设计静电执行器的Simulink模型，通过在不同输入信号情况下，系统的响应分析，以此研究系统的性能；对于改进型的模型，重点研究了静电执行器的“下拉．释放”动作过程。此动作过程的研究表明，静电执行器的动作过程具有局部稳定性，且存在一个全局固定稳定点。本文通过静电微执行器的控制研究，以期对微机电系统器件的控制仿真与分析提供参考。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余晓填	中山大学信息科学与技术学院	3	42	2.0	3.0