InSb晶片清洗研究

• 作者: 于增辉 程鹏 赵超
• 来源期刊: 红外
• 学科: 工学
• 关键词: InSb 兆声 SC-1 表面颗粒度 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 34-38
• 分类号: TN213
• 字数: 4167字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-8785.2012.07.008

摘要

随着红外探测器件制备工艺的不断发展,人们对InSb晶片表面质量的要求也越来越高,但是晶片在生产过程中不可避免地会引进各种杂质.研究了一种利用兆声超声并结合药液去离子水清洗InSb晶片的方法,并对清洗后的InSb晶片进行了表面颗粒度、表面有机物和表面粗糙度等方面的测量.实验结果表明,该方法能够有效去除InSb晶片表面的颗粒、有机物和金属离子杂质,但是也会略微增大晶片表面的粗糙度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵超		13	15	2.0	3.0
2	于增辉		2	2	1.0	1.0
3	程鹏		7	32	3.0	5.0