氧化孔径对高功率垂直腔面发射激光器温升的影响

• 作者: 刘云 刘迪 宁永强 张星 张金龙 王立军 秦莉
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 垂直腔面发射激光器 氧化孔径 热阻 温升
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 27-32
• 页数: 6页
• 分类号: TN248.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.0502005

摘要

为了在制作垂直腔面发射激光器(VCSEL)时选择合适的氧化孔径尺寸,以获得较好的光束质量和较高的输出功率,对具有不同氧化孔径的单管器件的热特性进行了实验研究.通过控制氧化时间,制作了氧化孔径分别为415、386、316 μm的单管器件,台面直径和P型接触电极直径均为450 μm和400 μm.针对3种器件在室温连续工作条件下不同的输出特性,对它们的热阻进行了实验测量,发现氧化孔径越小时器件热阻越大.通过对比电流、波长及温度的关系,得到了由电流引起的自热效应给3种器件带来的温升情况.注入电流为1A时,氧化孔径为415 μm的器件温度为32.4℃,氧化孔径为386 μm的器件温度为35.2℃,氧化孔径为316 μm时,器件的温度高达76.4℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张星	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	193	8.0	13.0
2	王立军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	131	1339	19.0	31.0
3	宁永强	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	49	191	9.0	13.0
4	秦莉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	50	185	8.0	13.0
5	刘云	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	99	706	15.0	23.0
6	张金龙	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	23	188	8.0	13.0
7	刘迪	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	7	22	3.0	4.0