化学溶液沉积法制备铁掺杂镍酸镧薄膜的结构及电学性能研究

• 作者: 劳媚媚 徐军 朱贵文 翁嘉文 陈如麒
• 来源期刊: 中山大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: LaNi1-xFexO3 LNFeO-x 化学溶液沉积法 CSD
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 页码范围: 60-62
• 分类号: O484
• 字数: 2408字
• 语种: 中文

摘要

采用化学溶液沉积法,在(100)取向单晶硅衬底上制备铁掺杂镍酸镧(LaNi1-xFexO3,LNFeO-x)薄膜,研究了其结构和室温下的导电特性.X射线衍射测试结果表明,经700℃ 1h退火的薄膜呈钙钛矿结构,没有可以观察到的杂相生成.薄膜表面平整、致密,没有微裂痕出现.随着铁含量的增加,薄膜电阻率由1.7 mΩ·cm增加到3.9 mΩ.cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	劳媚媚	华南农业大学公共基础课实验教学中心	21	67	4.0	7.0
2	翁嘉文	华南农业大学理学院	31	141	5.0	10.0
3	陈如麒	华南农业大学公共基础课实验教学中心	19	58	3.0	7.0
4	徐军	华南农业大学公共基础课实验教学中心	13	43	3.0	6.0
5	朱贵文	广东药学院物理与电子学教研室	10	11	2.0	2.0