柔性MEMS减阻蒙皮设计及其制作工艺

• 作者: 朱效谷 李勇 李文平
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 交通运输
• 关键词: 减阻蒙皮 柔性MEMS 微气泡 微凹坑 SU-8胶 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2696-2703
• 页数: 8页
• 分类号: TN405|U661.3
• 字数: 3076字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122012.2696

摘要

提出了一种电解水式驻留微气泡减阻的柔性微机电系统(MEMS)蒙皮技术,研究了蒙皮结构设计以及加工工艺.设计了一种包含柔性基底层、金属电极图案层和微凹坑阵列层的三层式蒙皮结构,提出了两种基于MEMS工艺的制作方法.分别采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)和SU-8胶材料制作了微凹坑阵列层,并对其关键工序进行了实验研究.以SU 8胶为微凹坑阵列材料制作了柔性MEMS蒙皮样件.所制样件中,圆柱形驻气凹坑的直径为40μm、深度为50μm、密度为6.25×104/cm2、样件总厚度为90 μm,可弯曲并贴附于截面直径为28 mm的圆柱体表面而不损坏.结果显示了MEMS减阻蒙皮工艺的可行性,证明将电解水式驻留微气泡的柔性减阻蒙皮设计与MEMS工艺有机结合,是一种航行体表面减阻的有效技术途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李勇	清华大学精密仪器与机械学系	207	2161	23.0	35.0
2	朱效谷	清华大学精密仪器与机械学系	6	54	4.0	6.0
3	李文平	清华大学摩擦学国家重点实验室	2	14	2.0	2.0