多晶硅还原工段余热回收

• 作者: 彭灯平
• 来源期刊: 安徽化工
• 学科: 化学
• 关键词: 多晶硅 还原系统 能耗 余热回收
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 技术进步
• 页码范围: 47-48
• 页数: 2页
• 分类号: O613.72
• 字数: 1849字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-553X.2012.06.015

摘要

多晶硅还原工段占多晶硅成本18％～25％,对还原系统的能量消耗进行分析,进行余热回收,为多晶硅生产工厂和多晶硅工艺设计提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭灯平		1	2	1.0	1.0