变速切割速度曲线对硅片翘曲度的影响

• 作者: 马玉通
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 线切割 翘曲度 切割速度
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 材料制备与设备
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 1871字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.03.012

摘要

根据线切割机的工作原理，综合考虑了砂浆中磨料在磨削过程中的变化以及单晶直径的变化，确定了变速切割的工艺方法，同时考虑到125mm单晶直径大、SIC磨削路线长、磨削发热量大，制定了包括线速度、耗线量、砂浆温度、砂浆流量以及各部分温度的工艺参数。通过该工艺参数进行了切割实验，验证了该工艺参数下切割的晶片可以满足要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马玉通	中国电子科技集团公司第四十六研究所	13	31	4.0	5.0