300mm立式炉恒温区测量系统的设计与实现

• 作者: 徐冬 王艾
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 立式炉 恒温区 PLC
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 测试测量技术与设备
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.4
• 字数: 1905字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.03.009

摘要

针对300mm立式炉设备恒温区测量的需求，设计并实现了一套恒温区测量的软硬件系统。硬件系统由电机、电机驱动器、PLC模块、工控机、热电偶等组成。同时为了更加灵活方便的操作恒温区测量装置，设计了一套完整的控制软件系统，实现热电偶的3种运动控制模式，显示热电偶当前的状态——运动速度、位置、温度，保存温度、位置等数据。恒温区测量实验表明，该系统能满足立式炉设备恒温区测量功能的需求．现已成功应用于300mm立式氧化炉设备。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王艾	北京七星华创电子股份有限公司集成电路工艺设备研发中心	3	3	1.0	1.0
2	徐冬	北京七星华创电子股份有限公司集成电路工艺设备研发中心	3	3	1.0	1.0