压电陶瓷微动台的复合控制

• 作者: 王俐 饶学军 饶长辉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷 迟滞特性 改进的PI迟滞模型 前馈控制 动态定位精度
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1265-1271
• 分类号: TP273|TN384
• 字数: 2760字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122006.1265

摘要

压电陶瓷微动台的迟滞非线性严重影响其动态定位精度,为了解决这一问题,采用一种改进的PI模型对微动台的迟滞非线性进行了建模.为了提高传统PID算法对压电陶瓷微动台的动态定位性能,将改进的PI模型与传统PID算法组合构成前馈复合控制算法,并进行了微动台的慢速与快速动态定位实验.结果表明,对同频曲线定位时,前馈PID复合算法的最大误差为传统PID算法的40％左右,平均误差为传统算法的20％～30％左右；对多频曲线定位时,前馈PID复合算法的最大误差和平均误差为传统PID算法的33％左右.数据表明前馈PID复合算法的动态定位性能明显优于传统PID算法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	饶长辉	中国科学院光电技术研究所	114	890	16.0	22.0
5	饶学军	中国科学院光电技术研究所	19	397	10.0	19.0
9	王俐	中国科学院光电技术研究所	7	164	6.0	7.0