适用于恶劣环境的MEMS压阻式压力传感器

• 作者: 伞海生 余煜玺 宋子军 王翔 赵燕立
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 压阻式压力传感器 恶劣环境 可靠性
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 550-555
• 分类号: TP212.12
• 字数: 1793字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122003.0550

摘要

为了消除潮湿、酸碱、静电颗粒等恶劣环境对压力传感器压敏电阻的影响,提出了一种新型结构的压阻式压力传感器.该传感器将压敏电阻置于应力薄膜的下表面并通过阳极键合技术密封在真空压力腔中,从而减少了外界环境对压敏电阻的影响.介绍了此种压力传感器的工作原理,使用ANSYS软件并结合有限元方法模拟了压敏薄膜在压力作用下的应力分布情况.最后,利用微机电系统(MEMS)技术成功制作出了尺寸为1.5 mm×1.5 mm×500 μm的压阻式压力传感器.用压力检测平台对该压力传感器进行了测试,结果表明,在25～125℃,其线性度小于2.73％,灵敏度约为20mV/V-MPa,满足现代工业使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伞海生	厦门大学物理与机电工程学院机电工程系	9	97	4.0	9.0
5	宋子军	厦门大学物理与机电工程学院机电工程系	1	49	1.0	1.0
6	王翔	厦门大学物理与机电工程学院机电工程系	10	88	4.0	9.0
7	赵燕立	厦门大学物理与机电工程学院机电工程系	1	49	1.0	1.0
8	余煜玺	厦门大学材料学院材料科学与工程系	19	135	5.0	11.0