微机械电容式加速度传感器的设计与加工工艺

• 作者: 施冠羽 易定和 欧阳清 胥震
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 电容传感器 有限元仿真分析 加工工艺
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1-3,14
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3106字
• 语种: 中文

摘要

对定齿偏置电容式加速度传感器进行了参数设计和优化.通过有限元仿真分析软件计算出其特征频率与典型振动模态,结果表明:传感器具有较大的频率响应范围,检测模态特征频率远小于其他模态,有效减小了交叉干扰.最后,给出了基于MEMS技术的电容式加速度传感器的加工工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	欧阳清	海军工程大学船舶与动力学院	31	118	6.0	9.0
2	施冠羽	海军工程大学船舶与动力学院	9	27	4.0	4.0
3	易定和	海军工程大学船舶与动力学院	4	13	2.0	3.0
4	胥震	海军工程大学船舶与动力学院	2	10	2.0	2.0