高能纳秒激光烧蚀单晶硅的微观结构

• 作者: 张秋慧 王克甫
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳秒激光 激光烧蚀 单晶硅 相爆炸
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 激光应用与系统
• 页码范围: 36-37
• 页数: 2页
• 分类号: O539
• 字数: 2242字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2012.05.022

摘要

高能纳秒激光烧蚀硅时，往往会伴随着相爆炸过程，它决定了烧蚀的形貌特征。基于相爆炸的物理过程，分析了相应的烧蚀形貌：相爆炸的发生会使得硅材料发生大范围的去除，高温熔化材料的混合物向外喷溅，冷却形成放射状的冷却条，期间分布着冷却的球状微粒；超热液体的去除部位形成一个类似花瓣状坑，在坑中由于入射光与散射光的干涉形成条纹，其周期与激光光波相似。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王克甫	河南工程学院电气信息工程系	14	42	3.0	6.0
2	张秋慧	河南工程学院电气信息工程系	18	35	4.0	5.0