晶片定位原理与算法

• 作者: 吕菲 周传月 李春龙 耿博耘 莫宇
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 晶片定位 数据采集 定位槽 参考面 数据分析
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 测试测量技术与设备
• 页码范围: 47-49
• 分类号: TN305
• 字数: 1275字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.01.010

摘要

在半导体材料的加工过程中,晶片的精确定位应用于多个工序,一方面能提高生产率,另一方面也能提高产品的一致性,保证晶片的加工精度。目前的定位方式分为两种,仅对电子定位系统加以介绍,针对不同的晶片轮廓采用不同的识别数据,介绍了数据采集原理和数据特点,以及轮廓识别软件如何对数据进行分析和处理,最终实现对晶片的精确定位。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕菲	中国电子科技集团公司第四十六研究所	24	88	6.0	8.0
2	莫宇	中国电子科技集团公司第四十六研究所	5	11	2.0	3.0
3	周传月	中国电子科技集团公司第四十六研究所	6	10	2.0	3.0
4	耿博耘	中国电子科技集团公司第四十六研究所	7	14	2.0	3.0
5	李春龙	中国电子科技集团公司第四十六研究所	2	1	1.0	1.0