基于ZV成型器的纳米精度定位系统研究

• 作者: 刘学军 石伟
• 来源期刊: 工业控制计算机
• 关键词: ZV成型器 精密定位 定位控制系统
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 测控系统
• 页码范围: 71,74
• 页数: 2页
• 字数: 1684字
• 语种: 中文

摘要

研究目的在于针对整体十字形压电式纳米开关(PZT)设计实时控制算法(ZV成型器)以改进其暂态响应并减小稳态误差值.实验结果表明,系统具有较好的控制品质和优异的动态性能.