金属Ag微网格修饰ITO薄膜的制备及光电性能

• 作者: 吴东奇 李东亮 王文文 王聪 马丁
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: ITO薄膜 模板技术 直流磁控溅射 Ag微网格
• 年，卷（期）: 2012,（24）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 3402-3405,3409
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 1722字
• 语种: 中文

摘要

利用聚苯乙烯（PS）微球模板技术和直流磁控溅射技术在ITO（In2O3∶Sn）薄膜表面进行Ag的微网格修饰,得到具有良好周期性的表面结构。研究了PS微球直径和直流磁控溅射Ag时间对ITO薄膜表面形貌、可见光区透过率、漫反射率和导电性能的影响。实验及分析证明,对ITO表面进行Ag微网格修饰,当微球直径为2μm,溅射时间为30s时,最大可提高薄膜的导电性能19.5%,其漫反射性能可提高200%,同时在可见光区透过率的降低控制在10%以下,这将有助于提高ITO薄膜作为太阳能电池透明电极的陷光性能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王聪	北京航空航天大学物理科学与核能工程学院	45	510	12.0	21.0
2	王文文	北京航空航天大学物理科学与核能工程学院	20	103	5.0	9.0
3	马丁	北京航空航天大学物理科学与核能工程学院	3	5	2.0	2.0
4	吴东奇	北京航空航天大学物理科学与核能工程学院	1	3	1.0	1.0
5	李东亮	北京航空航天大学物理科学与核能工程学院	1	3	1.0	1.0