基于激光直写的微流光学触摸传感阵列

• 作者: 吴兴坤 李书 李贤 林巧 范宇强 袁余锋
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 光学设计 触摸传感 阵列
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 集成光学
• 页码范围: 111-116
• 页数: 6页
• 分类号: TN256
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201232.0313001

摘要

设计并制作了一种基于激光直写技术的光学触摸传感器件.该器件采用光学微流结构实现对外加压力的连续比例测量.器件制作采用紫外激光直写技术配合高精度平移台实现,整体工艺过程在3 min内完成.对所设计的传感器件的性能测试表明,光强信号随外力变化的曲线平滑,实测灵敏度为0.995 mV/kPa.同时设计并制作了基于传感单元的阵列结构,不仅消除了光学累积误差,而且对集成化触摸传感的应用具有优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴兴坤		32	204	9.0	12.0
2	林巧		28	589	12.0	24.0
3	李贤		2	0	0.0	0.0
4	袁余锋		2	0	0.0	0.0
5	李书		8	35	3.0	5.0
6	范宇强		2	0	0.0	0.0