半导体CVD真空镀膜监控系统的设计

• 作者: 刘颖 夏诗怡 葛品森
• 来源期刊: 科技信息
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积(CVD) 监控系统 工业控制计算机 PLC
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 工程技术
• 页码范围: 356
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2966字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9960.2012.10.318

摘要

为了满足半导体产业发展的需求,本文介绍了一套基于工业PC和PLC的真空设备远程监控系统.内容包括CVD真空镀膜监控系统的工艺,结构以及工作原理,并对该控制系统的软件功能进行了描述.对该系统的监控效果进行了大量的测试.试验结果表明,人机交互性良好,性能稳定,可以精确的远程监控反应过程,并对各个被控量的信息进行实时存储、分析.有效地对现场设备进行管理,保证了系统的准确运行,提高了效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘颖	浙江农林大学信息工程学院	9	41	2.0	6.0
2	葛品森	浙江农林大学信息工程学院	2	5	1.0	2.0
3	夏诗怡	浙江农林大学信息工程学院	2	1	1.0	1.0