新型化学气相沉积炉的炉衬

• 作者: 李小杰 段建军 黄剑
• 来源期刊: 工业加热
• 学科: 工学
• 关键词: 电阻炉 化学气相沉积炉 炉衬结构 高温测试
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 62-64
• 页数: 3页
• 分类号: TM924.3
• 字数: 1809字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1639.2013.06.020

摘要

我国在C/C复合材料领域的化学气相沉积电阻炉存在诸多问题,其中在炉衬、电热元件的安装和炭源气体在加热炉内漏气等存在许多隐患;随着国民经济的发展,我国的炉衬耐火材料也得到迅猛发展,结合国内情况,成功研制出新型CVD化学气相沉积炉炉衬结构,该结构能较好的解决以上问题.经过大量高温测试证明,该结构的性能、安装、维护和使用寿命都达到国外先进水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李小杰		2	0	0.0	0.0
2	段建军		5	41	3.0	5.0
3	黄剑		13	22	3.0	4.0