W-Mo复合离子掺杂VO2薄膜热滞回线的热调制现象

• 作者: 宋林伟 张阳 徐元杰 施奇武 黄婉霞
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化钒薄膜 红外光学性能 W-Mo复合掺杂 热调制
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 497-501
• 页数: 5页
• 分类号: TG135
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1077.2013.12358

摘要

以单晶si (100)为基底,采用无机溶胶-凝胶法在其表面制备W-Mo复合离子掺杂VO2薄膜.采用SEM、XRD等手段分析了薄膜的表面形貌和晶体结构.在热驱动下,利用原位FTIR分析了W-Mo复合离子掺杂VO2薄膜半导体-金属相变性能.结果显示:单晶Si (100)表面VO2薄膜具有(011)择优生长取向,W6+、Mo6+取代了V4+在晶格中的位置,实现置换掺杂.热滞回线分析表明,与未掺杂VO2薄膜相比,V1-x-yMoxWyO2薄膜相变温度降低,滞后温宽减小,同时相变陡然性变差,相变温宽增大；在相变温度区间内,温度路径对红外透过率具有调制效果,其调制作用受原始热滞回线的制约.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄婉霞		86	1255	18.0	32.0
2	宋林伟		5	4	1.0	2.0
3	徐元杰		4	4	1.0	2.0
4	张阳		11	52	4.0	7.0
5	施奇武		11	47	4.0	6.0