利用红外光谱测量氮化镓薄膜的载流子浓度和迁移率

• 作者: 吴平 张师平 张炎 朱少奇 闫丹 陈森
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮化镓薄膜 载流子浓度 迁移率 红外光谱
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 实验教学
• 页码范围: 4-6,23
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2242字
• 语种: 中文

摘要

利用红外光谱仪无损测量氮化镓薄膜的反射红外光谱,通过拟合计算获得薄膜的载流子浓度以及迁移率.实验测得氮化镓薄膜的载流子浓度为3.204×1018cm-3,迁移率为2.149×102 cm2/(V·s),该结果与霍尔效应方法测量结果一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴平	北京科技大学数理学院物理系	93	481	11.0	17.0
2	陈森	北京科技大学数理学院物理系	37	166	7.0	10.0
3	闫丹	北京科技大学数理学院物理系	7	22	3.0	4.0
4	张师平	北京科技大学数理学院物理系	30	128	6.0	10.0
5	朱少奇	北京科技大学数理学院物理系	1	5	1.0	1.0
6	张炎	北京科技大学数理学院物理系	1	5	1.0	1.0