方形孔径微透镜阵列与红外焦平面集成技术研究

• 作者: 冷雁冰 孙艳军 董连和 陈哲
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 红外焦平面 微透镜阵列 光胶集成
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 954-957,962
• 分类号: TN215
• 语种: 中文

摘要

针对红外焦平面阵列自身存在的占空比小、光能利用率低的问题,提出利用光胶技术将方形孔径球面微透镜阵列与红外焦平面集成.从理论角度分析了微透镜阵列集成的聚能效应.设计“栅线”和“十字”双对准标记,采用衍射光栅同轴对准方法实现器件的对准.经过对集成前后红外焦平面性能进行对比,发现响应率提高了近40％,探测率提高了约20％,红外焦平面的噪声从758.89 μV下降到668.23 μV.最终得到结论:光胶法用于两种器件的集成具有耐温性好、变形小、强度高等优点,集成后红外焦平面的探测性能显著提高,有利于探测器微小型化发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董连和	长春理工大学光电工程学院	45	151	7.0	11.0
2	孙艳军	长春理工大学光电工程学院	36	106	6.0	9.0
3	冷雁冰	长春理工大学光电工程学院	34	117	6.0	10.0
4	陈哲	长春理工大学光电工程学院	12	45	3.0	6.0