聚碳酸酯表面射频磁控溅射类金刚石薄膜的摩擦学性能

• 作者: 巴德纯 王凤 程春玉 蔺增
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 聚碳酸酯 类金刚石薄膜 射频磁控溅射 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 50-54
• 分类号: TG174.44|TG115.58
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.04.007

摘要

采用射频磁控溅射方法在聚碳酸酯片(PC)上沉积了类金刚石薄膜.利用激光拉曼光谱和扫描电子显微镜对薄膜的形貌及结构进行分析；采用表面粗糙度仪和球盘式摩擦磨损试验机对薄膜的摩擦学性能进行测试.结果表明:利用射频磁控溅射方法在聚碳酸酯片上沉积的薄膜具有类金刚石特征；射频功率和直流偏压对sp3键含量有较大影响,并影响镀膜后聚碳酸酯材料的表面粗糙度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯	东北大学机械工程与自动化学院	250	1491	18.0	22.0
2	蔺增	东北大学机械工程与自动化学院	40	160	7.0	9.0
3	程春玉	东北大学机械工程与自动化学院	2	7	2.0	2.0
4	王凤		4	12	2.0	3.0