基于SU-8材料的无源-有源集成式电光开关设计与制备

• 作者: 孙健 孙小强 岳远斌 张大明 王希斌 王菲 陈长鸣
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: SU-8 无源-有源集成波导 插入损耗 电光开关
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 1065-1069
• 页数: 5页
• 分类号: TN256
• 语种: 中文

摘要

对基于SU-8紫外负性光刻胶的无源-有源集成式电光开关进行了系统的研究.首先用物理掺杂的方法制备出价格低廉、性能良好的主客掺杂型电光材料DR1/SU-8,反射法测量其电光系数约为11.5 pm/V@1310 nm.为减小器件的插入损耗,设计了有源芯层为DR1/SU-8、无源芯层为SU-8的倒脊形混合集成式波导结构.制作完CPW行波电极后,对器件进行接触极化.实验测得开关的上升时间和下降时间分别为5.6μs和5.2μs,插入损耗为13.8 dB,与只用DR1/SU-8作为波导芯层的器件相比,插入损耗减小了约2.8 dB.实验结果表明,这种无源-有源集成式电光波导有效地减小了器件的插入损耗,为制备低损耗的电光器件和单片多功能集成器件奠定了一定的基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙健		74	458	13.0	20.0
2	王菲		56	247	6.0	15.0
3	孙小强		19	62	4.0	7.0
4	张大明		44	113	6.0	9.0
5	岳远斌		5	15	2.0	3.0
6	王希斌		11	6	2.0	2.0
7	陈长鸣		11	14	3.0	3.0