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红外微透镜阵列及其与MCT红外焦平面的集成
红外微透镜阵列及其与MCT红外焦平面的集成
作者:
刘黎
易新建
李明燃
赖建军
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微光学
微透镜阵列
填充因子
红外图像传感器
光电集成
摘要:
针对中短波碲镉汞(MCT)红外焦平面探测器的使用要求,设计了用于混合集成和单片集成且尺寸大小与探测器像元结构匹配的方形底折射微透镜阵列.采用热熔成形和(反应)离子束刻蚀转移技术制作了多种红外材料微透镜,如Si、Ge、GaAs、蓝宝石以及红外玻璃(IRG-103和IRG-104)微透镜.针对混合集成和单片集成的不同要求,选用多种光刻胶如AZ6112和AZ6130等不同厚度的胶以及SUN-120P低熔点正型光刻胶,进行热熔和刻蚀实验,遴选分别适用于混合和单片集成的光刻胶.优化光刻胶和衬底材料的刻蚀速率比,得到高填充因子和合适光学参数的微透镜阵列.探究了SUN-120P低熔点正型光刻胶的特性和通过离子束刻蚀转移视线实现零间距透镜的工艺.最后介绍了与MCT红外焦平面阵列器件的集成方式和工艺进展.
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内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
红外微透镜阵列及其与MCT红外焦平面的集成
来源期刊
光学与光电技术
学科
工学
关键词
微光学
微透镜阵列
填充因子
红外图像传感器
光电集成
年,卷(期)
2013,(6)
所属期刊栏目
红外技术
研究方向
页码范围
19-24,42
页数
分类号
TN21
字数
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1672-3392.2013.06.005
五维指标
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参考文献
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研究主题发展历程
节点文献
微光学
微透镜阵列
填充因子
红外图像传感器
光电集成
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学与光电技术
主办单位:
华中光电技术研究所
武汉光电国家实验室
湖北省光学学会
出版周期:
双月刊
ISSN:
1672-3392
CN:
42-1696/O3
开本:
大16开
出版地:
武汉市阳光大道717号
邮发代号:
38-335
创刊时间:
2003
语种:
chi
出版文献量(篇)
2142
总下载数(次)
3
总被引数(次)
9791
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