刻蚀设备在太阳能晶硅电池刻蚀工艺中的应用

• 作者: 万喜新 李佳 杨金 郭进 魏唯
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 激光刻蚀 等离子体刻蚀 太阳能 硅片电池
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1774字
• 语种: 中文

摘要

介绍了激光划线设备在太阳能电池中的应用。与传统等离子体刻蚀设备对比，从设备结构，工艺原理，试验测试等方面做了深入的分析，并从理论角度分析得出激光刻蚀具备效率损失小，能够提高电池片的转换效率的优点，同时用实验验证了激光划片设备具有优异的刻蚀效果，对提升电池片效率的贡献。