平面埋入电容的印制电路板研究

• 作者: 于中尧 刘镇权 张静 林灿荣 陈良
• 来源期刊: 印制电路信息
• 学科: 工学
• 关键词: 埋嵌电容 平面电容 薄介质
• 年，卷（期）: 2013,（z1）
• 所属期刊栏目: 特种印制板 Special PCB
• 页码范围: 364-369
• 页数: 6页
• 分类号: TN41
• 字数: 2883字
• 语种: 中文

摘要

文章介绍以有机/无机复合薄膜作为电介质层的埋入式平面电容，其结构为金属-介质-金属，其具有与印制电路板制造工艺的良好兼容性，采用层压法进行平面埋入式电容的制作，其工艺简单，制作成本较低，可实现大规模量产。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于中尧	中国科学院微电子研究所	7	87	5.0	7.0
2	张静	中国科学院微电子研究所	149	920	17.0	24.0
3	刘镇权		37	25	3.0	4.0
4	陈良		11	21	3.0	4.0
5	林灿荣		1	2	1.0	1.0