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多晶硅还原工艺自动控制技术探索
多晶硅还原工艺自动控制技术探索
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摘要：
介绍了基于改良西门子法多晶硅生产和西门子PCS7控制系统的还原工艺自动控制优化思路及设计原理,对于提高生产效率,保证生产安全有及其重要的意义.
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研究主题发展历程
节点文献
控制优化
思路
原理
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研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
自动化与仪器仪表
主办单位：
重庆工业自动化仪表研究所
重庆市自动化与仪器仪表学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1001-9227
CN：
50-1066/TP
开本：
大16开
出版地：
重庆市渝北区人和杨柳路2号B区
邮发代号：
78-8
创刊时间：
1981
语种：
chi
出版文献量（篇）
9657
总下载数（次）
37
总被引数（次）
30777
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