硅MEMS加速度传感器教学实验平台构建

• 作者: 安瑛 曹乐 李逸伦 郭占社
• 来源期刊: 实验技术与管理
• 学科: 工学
• 关键词: 实验平台 MEMS加速度传感器 数据采集
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: 仪器设备研制与应用
• 页码范围: 76-78
• 页数: 3页
• 分类号: G642.423|TP212.1
• 字数: 1462字
• 语种: 中文

摘要

基于硅MEMS （micro-electromechanical systems）加速度传感器体积小（微米量级）、工作原理较抽象、课堂教学接受较困难等问题，构建了硅M EM S加速度传感器教学实验平台。该实验平台主要由加速度信号发生装置、高性能石英振梁加速度传感器、M EM S加速度传感器芯片、A/D转换电路、单片机数据采集及处理电路、液晶显示装置等组成。加速度信号发生装置提供不同的加速度信号。高性能石英振梁加速度传感器用于对M EM S加速度传感器的测试结果进行比对。测试结果表明，该实验平台性能良好，能够满足实验要求。该实验平台不但强化了对学生动手能力的培养，体现了实验教学与课堂教学的结合，也为传感器技术及应用、误差理论与数据处理等课程提供了重要支持。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭占社	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	29	89	5.0	8.0
2	曹乐	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	7	16	2.0	3.0
3	李逸伦	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	1	1	1.0	1.0
4	安瑛	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	1	1	1.0	1.0