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自抗扰控制技术在微机电换能器中的应用
自抗扰控制技术在微机电换能器中的应用
作者:
董莉莉
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微机电系统
微机电陀螺仪
静电执行器
自抗扰控制
鲁棒性
摘要:
自抗扰技术,作为一门新兴的鲁棒控制技术,能够成功补偿微机电制造上的缺陷以及周围环境的扰动,从而提高微机电传感器和执行器的性能,增加它们的测量及移动精度.本文介绍了自抗扰技术在微机电陀螺仪和静电执行器两大微机电换能器上的应用.通过使用此项控制技术,微机电陀螺仪可精确测量并输出匀速及时变角速度.此外,一种模型辅助自抗扰控制器被首次应用到微执行器上.此模型辅助自抗扰控制器建立在部分模型已知的基础上.它能够在外干扰存在的情况下,把静电执行器的位移范围提高到电容间距的99%.模型辅助自抗扰控制器的抗噪声能力也优于传统的自抗扰控制器.作者用仿真和实验结果向读者展示了自抗扰技术在微机电领域的鲁棒性,有效性和实用性.
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篇名
自抗扰控制技术在微机电换能器中的应用
来源期刊
控制理论与应用
学科
工学
关键词
微机电系统
微机电陀螺仪
静电执行器
自抗扰控制
鲁棒性
年,卷(期)
2013,(12)
所属期刊栏目
综述与评论
研究方向
页码范围
1543-1552
页数
10页
分类号
TP202+.1
字数
6284字
语种
中文
DOI
10.7641/CTA.2013.31016
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传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
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自抗扰控制
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研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
控制理论与应用
主办单位:
华南理工大学
中国科学院数学与系统科学研究院
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-8152
CN:
44-1240/TP
开本:
大16开
出版地:
广州市五山华南理工大学内
邮发代号:
46-11
创刊时间:
1984
语种:
chi
出版文献量(篇)
4979
总下载数(次)
16
总被引数(次)
72515
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